進行真空系統檢漏時，可以采取以下步驟：

準備工作：關閉真空系統的所有閥門和泵，确保系統處于封閉狀态。檢查真空系統的密封件和連接部件，确保其完好無損。

壓力測試：使用氣體或氦氣充入系統，增加系統内部的壓力。同時，使用壓力表或檢漏儀器監測系統内部的壓力變化，觀察是否存在漏氣現象。

檢查連接部件：仔細檢查系統的連接部件，包括法蘭、接頭、密封墊等。使用肉眼或手觸來觀察是否有氣體洩漏的迹象，如氣體冒泡、氣味或氣體流動的現象。

檢查真空泵：檢查真空泵本身是否存在漏氣現象。可以使用氣體或氦氣對泵進行測試，觀察泵的入口和出口是否有氣體洩漏的迹象。

使用檢漏劑：将檢漏劑塗抹在可能洩漏的部位，如連接處、閥門、接頭等。觀察檢漏劑是否出現冒泡或顔色變化，這表明有氣體洩漏。

使用檢漏儀器：使用專業的檢漏儀器進行檢測。這些儀器可以檢測微小的氣體洩漏，并給出準确的結果和指示。根據儀器的使用說明，按照指示進行操作和觀察。

修複漏點：如果發現漏點，需要及時修複。可以更換密封件、調整連接部件、緊固螺絲等，确保系統的密封性和完整性。

重新測試：修複漏點後，重新進行測試，确保系統沒有漏氣。重複進行壓力測試、檢查連接部件和使用檢漏劑等步驟，确保系統的可靠性。 

請注意，以上是一般的真空系統檢漏步驟，具體的檢漏方法和工具應根據實際情況和設備要求來選擇和使用。在進行檢漏操作時，應遵守相關安全規定，并參考設備的操作手冊和使用說明。

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